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Steinbeis-Transferzentrum Mikro-, Nano- und Zuverlässigkeitsanalytik
94469 Deggendorf
Deutschland
- Fon: +49 991 2705513
-
Transferunternehmer:
- Prof. Dr.-Ing. Günther Benstetter
Dienstleistungsangebot
- Analysedienstleistungen
- Angewandte Forschung und Entwicklung
- Training und Beratung
- Seminare/Inhouse-Fortbildung
- Erstellung von Gutachten
Schwerpunktthemen
- Rastersondenmikroskopie (SPM)
- Rasterkapazitätsmikroskopie/-spektroskopie (SCM/SSCS)
- Kelvin-Probe-Force-Mikroskopie (KPFM)
- Scanning-Thermal-Mikroskopie (SThM)
- Rasterelektronenmikroskopie (SEM)
- Halbleiter-Messtechnik
- Waverlevel-Zuverlässigkeitsanalytik
- Waverlevel-Stress- und Messtechnik
- Lock-in-Verstärkertechnik
- Dünnschicht-Charakterisierung
- Ultraschall-Dünndrahtbonden
- Mikro- und Nanoelektronik
- Optoelektronik
- Oberflächenanalytik
Projektbeispiele
- Kelvin-Probe-Force-Mikroskopie an aktiven optoelektronischen Strukturen
- 2D-Dotierstoffmapping mit Rasterkapazitätsmikroskopie
- Lokalisierung von pn-Übergängen mit Rasterkapazitätsspektroskopie
- 2D-Mapping dünner Dielektrika mittels Tunnelstromanalytik (Kontaktmodus)
- Waferlevel Dünnoxid-Charakterisierung
- Waferlevel Hot-Carrier-Charakterisierung
- Rastersondenbasierte Nano-Scratch und Weartests an DLC-Schichten