Steinbeis-Transferzentrum
Mikro-, Nano- und Zuverlässigkeitsanalytik
| Adalbert-Stifter-Str. 43 | |
| D-94469 Deggendorf | |
| Telefon: | 0991-2705513 |
| E-Mail: | SU1310(at)stw.de |
- Leitung:
- Prof. Dr.-Ing. Günther Benstetter
Dienstleistungsangebot
- Analyse-Dienstleistungen
- Angewandte Forschung und Entwicklung
- Training und Beratung
- Seminare / Inhouse Fortbildung
- Erstellung von Gutachten
Schwerpunktthemen
- Rastersondenmikroskopie (SPM)
- Rasterkapazitätsmikroskopie / spekroskopie (SCM / SSCS)
- Kelvin-Probe-Force Mikroskopie (KPFM)
- Scanning Thermal Mikroskopie (SThM)
- Rasterelektronenmikroskopie (SEM)
- Halbleiter-Messtechnik
- Waverlevel - Zuverlässigkeitsanalytik
- Waferlevel - Stress- und Messtechnik
- Lock-In-Verstärkertechnik
- Dünnschicht Charakterisierung
- Ultraschall - Dünndrahtbonden
- Mikro- und Nanoelektronik
- Optoelektronik
- Oberflächenanalytik
Projektbeispiele
- Kelvin-Probe-Force Mikroskopie an aktiven optoelektronischen Strukturen
- 2D-Dotierstoffmapping mit Rasterkapazitätsmikroskopie
- Lokalisierung von pn-Übergängen mit Rasterkapazitätsspektroskopie
- 2D-Mapping dünner Dielektrika mittels Tunnelstromanalytik (Kontaktmodus)
- Waferlevel Dünnoxid Charakterisierung
- Waferlevel Hot Carrier Charakterisierung
- Rastersondenbasierte Nano-Scratch und Weartests an DLC Schichten